本所林本堅特聘研究講座教授因持續擴展奈米級積體電路製造，

榮獲2018年「未來科學大獎」之「數學與計算機科學」獎項

 

2018-09-08 21:31聯合報 記者林則宏╱即時報導

 

據上海《澎湃新聞》報導，大陸2018年「未來科學大獎」8日揭曉，

台積電研發副總林本堅因持續擴展奈米級積體電路製造，

奪得「數學與計算機科學獎」，獎金100萬美元。

根據「未來科學大獎」官網上訊息，未來科學大獎成立於2016年，

主要捐贈者包括百度公司董事長兼首席執行官李彥宏、

騰訊公司董事會主席兼首席執行官馬化騰、網易公司董事局主席兼

首席執行官丁磊、紅杉資本全球執行合夥人沈南鵬等12位大陸知名

的科技及投資界大老。

未來科學大獎目前設置「生命科學」、「物質科學」和「數學與計算

機科學」三大獎項，單項獎金100萬美元。

對獲獎者國籍不做限制，只要求其工作產生巨大國際影響；

具有原創性，長期重要性或經過時間考驗；

並主要在大中華地區完成（包含中國大陸地區、香港、澳門、台灣）。

本屆未來科學大獎出現了首位來自台灣的獲獎者。澎湃新聞稱，在現場

電話連線時，林本堅表示，「我本來以為，大陸比較不知道這件事，

現在我知道，大陸也很清楚我在半導體、電子上做的一點小小的貢獻。」

報導稱，林本堅開拓了浸潤式微影系統方法，持續擴展奈米級集成電路製造，

將「摩爾定律」延伸多代。

「未來科學大獎」官網並盛讚林本堅是：「極具成就的科學家和發明家，

半導體工業界的英雄，『浸潤式微影之父』」

大獎科學委員會今年的新增委員、台灣新竹大學校長張懋中說，

今年是半導體發明第60年，而摩爾定律就是人們發展

半導體技術時跟隨的「路線圖」。具體來講，林本堅發展的是晶片製造

中一種名為「光刻」（台灣稱為「微影」）的技術。在光照作用下，

人們利用刻蝕的方法，

將掩膜版上的圖形進一步縮小轉移到基片上。

張懋中解釋道，「微影技術突然遭到一個沒法向前行的困難，

這時候林本堅博士就想到，把水引入光刻機裡做光刻。這種工藝連續帶

領半導體進化了幾個世代！

每個世代意味著積體電路大小縮為四分之一，而能力變強一倍。」

在林本堅提出用水浸潤，代替原本間隙中的空氣的時候，

全世界都繼續堅持乾式工藝。「等於是他一個人站在一艘航空母艦前叫停。

他憑什麼叫停？就是在很堅實的物理學基礎上、光學基礎上，加以透徹的解釋，

光刻在怎樣的規律下才能繼續前進。這就是他得獎的原因。」

張懋中透露，《孟子》中的「雖萬千人吾往矣」是林本堅最喜歡的一句話。

他認為，這帶給我們的一個啟示是，不要隨便走又熱又鬧的路，有時候要走

一條比較冷僻的路。張懋中同時提到，林本堅1942年出生於越南，以僑生

的身分到台灣求學。「所以現在在創新導向的經濟裡，要儘量找到背景

不同的人。這在植物學裡就是雜交。大家文化不一樣，背景不一樣，

思考方式不一樣，『雜交』在一起常常能見到美麗的火花。」

起常常能見到美麗的火花。」

 

 

 

 

台積電研發副總林本堅奪得大陸2018年「未來科學大獎」的

「數學與計算機科學獎」，獎金100萬美元。 網路照片分享

台積電研發副總林本堅奪得大陸2018年「未來科學大獎」

的「數學與計算機科學獎」，獎金100萬美元。 網路照片