國立台灣大學光電工程學研究所
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  楊志忠 美國伊利諾大學博士 個人資料 | 著作列表 | 收授學生 | 網頁 | 實驗室
實驗室編號
實驗室名稱 光電製程實驗室
實驗室負責教師 楊志忠
實驗室位置 電機二館 R331
實驗室電話 +886-2-33669794
網址 http://140.112.17.156/ntuee2008/DefaultPage1.aspx
Clean RoomAn optoelectronics process laboratory, blueprinted and managed by the Graduate Institute of Photonics and Optoelectronics, is constructed in January 2008. This clean room laboratory is located at Room 331, Electrical Engineering Building, occupying a total area of 114.6 m2. A compartment of 12.5m2 is designated for the yellow room. The process laboratory, including all its facilities, is open to all faculty members and researchers at National Taiwan University. The facilities include, but are not limited to, dielectric E-gun, metal RIE, sputter evaporator, mask aligner, RTA, surface profiler, etc.
E-beam, RTP, RIE, Sputter, E-gum, RTA, UZ Ozone, SpinCoater
   
   
   
   
   
   

 
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