國立台灣大學光電工程學研究所
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  劉致為 美國普林斯頓大學博士 個人資料 | 著作列表 | 收授學生 | 網頁 | 實驗室
實驗室編號
實驗室名稱 前瞻性矽元件與製程實驗室
實驗室負責教師 劉致為
實驗室位置 電機二館R434
實驗室電話 +886-2-33663700 ext.434
網址 http://nanosioe.ee.ntu.edu.tw/

Advanced Silicon Device and Process Lab
(前瞻性矽元件與製程實驗室) :
The research in Prof. Chee Wee Liu’s group is based on the SiGe:C and strained Si/high-/metal gate, including

(1) CMOS and Bipolar circuit design using (strained) Si CMOS and Si/SiGe:C HBTs;

(2) device modeling and simulation on Strained Si/Ge FET, HBT, and optoelectronics devices;

(3) CMOS optoelectronics with detector, emitter and waveguide;

(4) material technologies such as SOI, GeOI, SSDOI, smart-cut, buckling quantum wells, nano-mechanics, and strained-SiGe:C; and

(5) the rapid thermal processors for RTA, RTO, RTCVD, and wafer bonding;

(6) Reliability modeling of poly-Si TFTs;

(7) Si Thin-film solar cells. The strained-Si/high-/metal gate is intentionally to bypass the red brick wall on the ITRS roadmap, but the novel applications such as optoelectronics application are also focused. To lower the cost of strained-Si technology, special local strain (process strain) technologies are being developed with calibrated process simulation.

1.EL/PL measurement system
2.Solar cell spectral response measurement system
3.Solar cell efficiency measurement system
4.FTIR measurement system
5.IV/CV measurement system
6.AFM measurement system
   
Function generator Keithley 2430
   
Pre Amplifier SR830 SR830 lock-in Amp
   
   
   
   

 
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